微機電系統(tǒng)(MEMS)專題
微機電系統(tǒng)，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的.電子發(fā)燒友為大家提供了詳盡的技術(shù)知識。
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