MEMS（微機電系統(tǒng)）是在半導(dǎo)體制造技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來，是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成，基于光刻、腐蝕等半導(dǎo)體技術(shù)，融入超精密機械加工，并結(jié)合材料、力學(xué)、化學(xué)、光學(xué) 等，使一個毫米或微米級別的MEMS系統(tǒng)具備精確而完整的電氣、機械、化學(xué)、光學(xué)等特性。

　　MEMS 器件主要包括傳感器、執(zhí)行器、微能源等，傳感器較為成熟，執(zhí)行器和微能源多處于起步階段：

　　傳感器：MEMS傳感器是目前應(yīng)用較為成熟的MEMS 器件，包括壓力傳感器（還可以通過壓力傳感器測量氣壓、高度）、慣性傳感器（加速計、陀螺儀、地磁傳感器，或二合一、三合一的組合）、MEMS 麥克風、環(huán)境傳感器（溫濕度）、熱輻射等。其中慣性傳感器、MEMS 麥克風幾乎已經(jīng)成為新型設(shè)備的標配，溫濕度、壓力等傳感器在移動終端尤其是部分穿戴式設(shè)備上的應(yīng)用也有望迅速 鋪開。

　　執(zhí)行器：MEMS 執(zhí)行器也有部分較成熟的應(yīng)用，如流量控制（噴墨頭），射頻器件里的 BAW（體聲波）濾波器、BAW 雙工器等，但未來大量的應(yīng)用場景不止于此，例如 MEMS 振蕩器/諧振器、 MEMS 揚聲器、MEMS 攝像頭、MEMS反射鏡（用于微投領(lǐng)域）等。

　　微能源：MEMS 燃料電池能量密度高，用MEMS 燃料電池代替目前的手機電池可使理論續(xù)航時間延長至數(shù)周，但目前成本高達300美金左右。

　　MEMS 具有體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩(wěn)定等優(yōu)點，MEMS 系統(tǒng)的獨特特性使之在很多領(lǐng)域具有應(yīng)用潛力，盡管已經(jīng)有不少應(yīng)用，但整體來說MEMS市場仍處于起步階段，大量的MEMS系統(tǒng)仍具備廣闊的市場潛力。全球來看，MEMS 當前市場規(guī)模約為120 億美元，有望在2020年達到近200億美元，年復(fù)合增速達到11.6%，遠超傳統(tǒng)半導(dǎo)體行業(yè)個位數(shù)的增速。其中組合慣性傳感器、微顯示等將呈現(xiàn)高速成長。整體而言，MEMS 傳感器有更廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和產(chǎn)品，在整個MEMS 市場所占份額超過70%。隨著MEMS 執(zhí)行器生產(chǎn)技術(shù)的成熟和應(yīng)用場景的增加，未來也會實現(xiàn)快速增長。

　　由于近年來硬件創(chuàng)新市場逐漸轉(zhuǎn)移國內(nèi)，中國市場對于MEMS傳感器的需求增速遠高于全球 MEMS 市場增速，約13.9%，到2020 年總市場規(guī)模近60億美元。

　　MEMS當前主要應(yīng)用在消費電子、汽車等領(lǐng)域，隨著產(chǎn)品的不斷成熟，航空航天、醫(yī)學(xué)和工業(yè)的應(yīng)用也逐漸普及。

　　2010年開始在MEMS 麥克風、慣性傳感器等帶動下，MEMS 市場開始進入快速成長期，從下游應(yīng)用來看，目前汽車和消費電子是最主要的應(yīng)用領(lǐng)域，而在2010 年至2015 年期間，汽車的復(fù)合年增長率為6.8%，高于消費電子的5.1%CAGR。MEMS 是未來幾年增長潛力最大的電子元器件，室內(nèi)導(dǎo)航、背景識別、關(guān)鍵詞識別、全時開機、全時聆聽、更準確的動作識別等功能都對MEMS 提出新需求。

　　由于消費電子領(lǐng)域的基礎(chǔ)創(chuàng)新較快，MEMS 也成為其重要的創(chuàng)新基礎(chǔ)元件，下游應(yīng)用領(lǐng)域中快速成長的仍然是消費電子領(lǐng)域，2015 年至2020 年的 CAGR為10.9%。 自2015 年至2020 年汽車、工業(yè)、醫(yī)療的CAGR 分別4.3%、7.7%、11.8%。中國的MEMS 行業(yè)按下游應(yīng)用來看，汽車和消費電子同樣是主要的增長動力，2010 年至 2015年汽車和消費電子領(lǐng)域的CAGR 分別為12.4%和 10.6%。 未來，由于中國消費電子和汽車的產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化進程快速，仍將保持高速增長，消費電子的年復(fù)合增速預(yù)測將達到 17.2%，汽車增速為10.3%。