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- “新一代顯示器”發展的關鍵 詳解IGZO技術

2016年04月19日 16:02 E視角 作者:小E 用戶評論(0

  IGZO屏幕優勢很多么?

  相比于傳統非晶硅a-Si材料,IGZO載流子遷移率更高,大約為10cm2/Vs。所以更少的材料就可以滿足要求,使管子尺寸更小,減少像素面積,使設備更輕薄;全透明,對可見光不敏感,能夠大大增加元件的開口率,提高亮度,降低功耗。另外,工藝溫度比a-Si低,而且具有很好的彎曲性能,能夠很好地配合柔性OLED

  相比于低溫多晶硅LTPS材料,IGZO 沒有屏幕尺寸的限制,小尺寸也可以做,大尺寸一樣可行,而LTPS難以生產大尺寸高分辨率的面板。另外,在生產方面,原有的非晶硅面板生產線要改造為LTPS生產線,需要較為復雜的過程,需要的資金也很多,而改造成IGZO面板只是對現有的非晶硅面板生產線進行改良,要容易很多,且不限制生產線的世代數。

  (1)由于漏電流小,畫無更新時可以切斷電流,可以進一步提高省電效果。(2)分辨率更高了,與使用a-Si的傳統液晶屏幕相比,可在保證透過光量的同時提高單位面積的像素數,根本原因還是IGZO的遷移率率更高,可以縮小體積,這樣分辨率就提升了。(3)使觸摸屏更靈敏。可采用間歇驅動方式,降低液晶顯示器驅動電路產生的噪聲對觸摸屏檢測電路造成的影響,從而實現了更高的觸摸靈敏度。


  不同半導體材料特性對比

  IGZO工作原理和結構模型都有哪些?

  非晶金屬氧化物IGZO由In2O3、Ga2O3和ZnO構成,禁帶寬度在3.5eV左右,是一種N型半導體材料。In2O3中的In3+可以形成5S電子軌道,有力于載流子的高速傳輸,電子的遷移率在875px2/V·s;Ga2O3有很強的離子鍵,可以抑制O空位的產生;ZnO中的Zn2+可以形成穩定西面體結構,可以使金屬氧化物IGZO形成穩定的非晶結構。因此,金屬氧化物IGZO適用于制作高遷移率薄膜晶體管。材料特性總結為4點:高遷移率;易于低溫濺射工藝;同質(沒有晶界);光學透明。

  金屬氧化物晶相與元素比例對于遷移率的影響

  目前金屬氧化物IGZO-TFT的結構主要有刻蝕阻擋型(Etch Stop Type)、背溝道刻蝕型(Back Channel Etch Type)和共面型(Coplanar Type)三種類型。按制作工藝可分為5Mask、6Mask、7Mask。下表簡列了不同Mask數結構的比較。

  常見IGZOTFT結構

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( 發表人:林錦翔 )

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