近日，南大光電在互動平臺透露，寧波南大光電目前已安裝完成第一條ArF（193nm）光刻膠生產線，該產線仍處于調試階段。目前，研發的產品正在測試、認證過程中，尚未形成量產和銷售。

2019年7月，南大光電在互動平臺透露，公司設立光刻膠事業部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進“ArF光刻膠開發和產業化項目”落地實施。

2019年10月，南大光電公告稱，公司與寧波經濟技術開發區管理委員會簽署了《投資協議書》，擬在寧波經濟技術開發區投資開發高端集成電路制造用各種先進光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料，形成規模化生產能力，建立配套完整的國產光刻膠產業鏈。該項目計劃總投資6億元，預計總用地50畝。項目完全達產后，預計實現約10億元的年銷售額，年利稅預計約2億元。

資資料顯示，南大光電主要從事高純電子材料研發、生產和銷售，通過承擔國家重大技術攻關項目并實現產業化。目前，公司形成MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料等業務板塊。值得注意的是，2017年，南大光電還承擔了集成電路芯片制造用關鍵核心材料之一的“193nm光刻膠材料的研發與產業化項目”（以下簡稱193nm光刻膠項目）。

對于兩個光刻膠項目之間的聯系，南大光電此前在公告中強調，“ArF光刻膠開發和產業化項目”與“193nm光刻膠材料的研發與產業化項目”系兩個獨立的項目。公司稱，投建新項目是為加大對先進光刻膠材料以及配套原材料的建設。
責任編輯：wv