精度的高低直接導致了三坐標測量機設備價格的差異。 目前市面上的三坐標測量機一般量程在1000mm以內的設備精度都會標示在2um～3um，而且在這個范圍內測量機的成本基本不會發生變化，也就是說究竟標定為2um還是3um一般由生產廠家的能力決定。因此，目前行業中較通用的中小型三坐標測量機精度一般都標示為2um，這個精度也是目前絕大多數使用者的首選精度。

Mars系列三坐標測量機的測量精度1.5+L/350起，用于機械制造、汽車、航天航空、船舶重工、軍工、風電、新能源等大型零件的測量；3C、工具原形等中小型零件的測量。涵蓋箱體、機架、齒輪，凸輪、渦輪，蝸桿、葉片的曲線、曲面的測量，可對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，完成過程控制，質量控制，逆向成型等任務。