白光干涉儀是一種高精度測量儀器，只要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域。其主要原理是將白光分成兩束，經過不同的光程后再合成在一起，通過干涉條紋的形成來測量物體的形狀、表面粗糙度、尺寸等參數。

在工業領域，白光干涉儀主要應用于機械制造、半導體、光學、航空航天等行業。例如，在機械制造中，白光干涉儀可以精確地測量機械零件的尺寸和形狀，從而保證產品質量；在光學領域中，白光干涉儀可以測量光學鏡片的形狀和曲率，從而保證光學系統的性能。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

主要測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。