N56系列直線壓電馬達是采用壓電微驅動技術,即利用壓電微位移致動器實現高精度定位和運動的技術,將壓電陶瓷在一定電場作用下的微變形量,經過結構轉換,輸出宏動直線毫米級行程。
直線壓電馬達原理
N56系列壓電馬達具有小體積、高精度、大行程等優勢。它的行程可達50mm,速度可達3mm/s,分辨率可達0.05μm,具有斷電自鎖功能。可選配光柵傳感器作為閉環控制傳感器,完成高精度定位。該系列還具有適用于在真空環境中使用的真空版本。同時,芯明天還可提供定制服務,以滿足各類行程、精度要求。
運動效果圖
N56系列壓電馬達特點
1.行程可選10mm、20mm、30mm、50mm
2.斷電自鎖
3.可選1至6維運動版本
4.可選真空版本,可選10^-6或10^-9mbar版本
產品應用
N56系列直線壓電馬達可廣泛應用在小負載、大行程納米定位、科學研究、光纖對接、微細加工、原子力顯微鏡、半導體的精密定位和微納操作等領域。
技術參數
型號 | N56系列 |
運動自由度 | X |
選配傳感器 | 光柵傳感器 |
標稱行程范圍 | 10至50mm可選 |
速度 | 3mm/s |
開環分辨率 | 0.005μm |
閉環分辨率 | <1μm |
最大出力 | 3N |
閉環重復度 | 0.1μm |
推力(主動) | 3N |
保持力(斷電自鎖) | 4.5N |
負載能力(水平方向) | 0.5kg |
負載能力(任意方向) | 0.1kg |
軸向剛度 | 1.5N/μm |
側向剛度 | 9N/μm |
工作溫度 | 0~50℃ |
電纜長度 | 1.5m |
材質 | 鋁,不銹鋼 |
配套控制器
由芯明天研發生產的E53.D1E/C1K-J壓電控制器非常適用于驅動N56系列壓電馬達,它是單通道壓電控制器,尺寸僅105×103×30.1mm^3,采用數字控制,外觀體積小巧,結構緊湊、易于集成。
審核編輯 黃宇
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壓電馬達
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