今日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）宣布其等離子體刻蝕設(shè)備反應(yīng)總臺(tái)數(shù)全球累計(jì)出貨超過5000臺(tái)。這包括CCP高能等離子體刻蝕機(jī)和ICP低能等離子體刻蝕機(jī)、單反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)器和雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)器共四種構(gòu)型的設(shè)備。等離子體刻蝕機(jī)，是光刻機(jī)之外，最關(guān)鍵的、也是市場最大的微觀加工設(shè)備。由于微觀器件越做越小和光刻機(jī)的波長限制，也由于微觀器件從二維到三維發(fā)展，刻蝕機(jī)是半導(dǎo)體設(shè)備過去十年增長最快的市場。這一重要里程碑標(biāo)志著中微公司在等離子體刻蝕設(shè)備領(lǐng)域持續(xù)得到客戶與市場的廣泛認(rèn)可，也彰顯了公司在等離子體刻蝕領(lǐng)域已進(jìn)入國際前列。

中微公司不斷拓展等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品線，以滿足先進(jìn)的芯片器件制造日益嚴(yán)苛的技術(shù)需求，早在2004年，首創(chuàng)了“甚高頻去耦合反應(yīng)離子刻蝕的技術(shù)（D-RIE, Decoupled Reactive Ion Etching）。中微公司也獨(dú)創(chuàng)了有專利保護(hù)的雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕反應(yīng)器，既可以單臺(tái)獨(dú)立操作，也可以雙臺(tái)同時(shí)操作的、輸出量高、加工成本低的獨(dú)特機(jī)型。中微公司的刻蝕設(shè)備在過去的20年積累了大量的芯片生產(chǎn)線量產(chǎn)數(shù)據(jù)和客戶驗(yàn)證數(shù)據(jù)，已經(jīng)可以覆蓋絕大多數(shù)的刻蝕應(yīng)用，包括各種高端的應(yīng)用。特別是CCP和ICP的雙臺(tái)機(jī)，反復(fù)論證了雙反應(yīng)臺(tái)之間刻蝕的線寬差別，１Sigma已達(dá)到０.５納米以下，刻蝕速度已可以精準(zhǔn)到0.1到0.2納米水平，相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑約三十萬分之一。中微公司的刻蝕機(jī)已在5納米及更先進(jìn)的微觀器件生產(chǎn)線上大量應(yīng)用。

中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備不斷擴(kuò)大市場占有率，公司的CCP高能等離子刻蝕設(shè)備和ICP低能等離子體刻蝕設(shè)備的出貨量近年來都保持高速增長。CCP設(shè)備在線累計(jì)裝機(jī)量近四年年均增長大于37%，已突破4000個(gè)反應(yīng)臺(tái)；ICP設(shè)備在線累計(jì)裝機(jī)量近四年年均增長大于100%，已突破1000個(gè)反應(yīng)臺(tái)。截至2025年2月底，公司累計(jì)已有超過5400個(gè)反應(yīng)臺(tái)在國內(nèi)外130多條生產(chǎn)線，全面實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)和大規(guī)模重復(fù)性銷售，贏得了眾多客戶和供應(yīng)廠商的信任和支持。

據(jù)業(yè)績快報(bào)顯示，中微公司2024年?duì)I業(yè)收入約90.65億元，較2023年增加約28.02億元。公司在過去13年保持營業(yè)收入年均增長大于35%，近四年?duì)I業(yè)收入年均增長大于40%的基礎(chǔ)上，2024年?duì)I業(yè)收入又同比增長約44.73%。其中，刻蝕設(shè)備收入約72.77億元，在最近四年收入年均增長超過50%的基礎(chǔ)上，2024年又同比增長約54.73%。

根據(jù)市場及客戶需求，公司顯著加大研發(fā)力度，2024年在研項(xiàng)目涵蓋六類設(shè)備，超二十款新設(shè)備的開發(fā)。公司開發(fā)的一系列設(shè)備已在性能上達(dá)到國際先進(jìn)水平，部分產(chǎn)品在其細(xì)分領(lǐng)域全球領(lǐng)先。公司為先進(jìn)存儲(chǔ)器件和邏輯器件開發(fā)的六種LPCVD薄膜設(shè)備已經(jīng)順利進(jìn)入市場。其中，在進(jìn)入市場后只一年，存儲(chǔ)器生產(chǎn)線所用的LPCVD設(shè)備出貨量已突破100多個(gè)反應(yīng)臺(tái)，2024年得到約4.76億元批量訂單。公司研發(fā)新產(chǎn)品的速度顯著加快，過去通常需要三到五年開發(fā)一款新設(shè)備，現(xiàn)在只需兩年或更短時(shí)間就能開發(fā)出有競爭力的新設(shè)備，并順利進(jìn)入市場。中微公司綜合競爭優(yōu)勢不斷增強(qiáng)，聚焦提高勞動(dòng)生產(chǎn)率，在2022年達(dá)到人均銷售350萬元的基礎(chǔ)上，2024年人均銷售超過了400萬元，各項(xiàng)營運(yùn)指標(biāo)已達(dá)到國際先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)水平。

未來，中微公司將緊跟先進(jìn)制程工藝發(fā)展的最前沿，繼續(xù)加大研發(fā)投入，在產(chǎn)品設(shè)計(jì)、開發(fā)和制造過程中，始終強(qiáng)調(diào)技術(shù)的創(chuàng)新、產(chǎn)品的差異化和知識(shí)產(chǎn)權(quán)的保護(hù)，不斷開發(fā)更多的高端設(shè)備產(chǎn)品，堅(jiān)持三維立體發(fā)展戰(zhàn)略，通過有機(jī)成長和外延擴(kuò)展，踐行科創(chuàng)企業(yè)的“五個(gè)十大“，即”產(chǎn)品開發(fā)十大原則“，”戰(zhàn)略銷售十大準(zhǔn)則“，”營運(yùn)管理十大章法“，”精神文化十大作風(fēng)“，”領(lǐng)導(dǎo)能力十大要點(diǎn)“，實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定、健康和安全的高質(zhì)量發(fā)展，盡早在規(guī)模和競爭力上成為國際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司！

關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微公司開發(fā)的CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕兩大類，包括十幾種細(xì)分刻蝕設(shè)備已可以覆蓋大多數(shù)刻蝕的應(yīng)用。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國內(nèi)和國際一線客戶，涵蓋從65納米到5納米及更先進(jìn)工藝的眾多刻蝕應(yīng)用。中微公司最近十年著重開發(fā)多種導(dǎo)體和半導(dǎo)體化學(xué)薄膜設(shè)備，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI設(shè)備，并取得了可喜的進(jìn)步。中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備早已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場占據(jù)領(lǐng)先地位。此外，中微公司也在布局光學(xué)和電子束量檢測設(shè)備，并開發(fā)多種泛半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備。這些設(shè)備都是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工和檢測微米級(jí)和納米級(jí)的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。在美國TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半導(dǎo)體設(shè)備客戶滿意度調(diào)查中，中微公司三次獲得總評(píng)分第三，薄膜設(shè)備三次被評(píng)為第一。

審核編輯 黃宇