基于白光干涉原理的光學(xué)3d表面輪廓儀，不僅可以用于零件的檢測(cè)，還可以應(yīng)用于生產(chǎn)中的檢測(cè)軋制產(chǎn)品表面缺陷的在線(xiàn)檢測(cè)。廣泛應(yīng)用于3C電子玻璃屏及其精密配件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天、科研院所等領(lǐng)域中。
產(chǎn)品功能
1) 一體化操作的測(cè)量與分析軟件，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。
2) 測(cè)量中提供自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能、批量測(cè)量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。
3) 測(cè)量中提供拼接測(cè)量功能。
4) 分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過(guò)濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線(xiàn)粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測(cè)量和直線(xiàn)度、圓度形位公差評(píng)定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板，結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
光學(xué)3d表面輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?nèi)，確保了高款率檢測(cè)。它的光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱(chēng)：光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動(dòng)
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調(diào)整：±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋?zhuān)焊嘣敿?xì)產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取
深圳市中圖儀器股份有限公司廣東3d光學(xué)輪廓儀廠(chǎng)家成立十多年來(lái)，一直堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，在微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測(cè)量三維重建、顯微測(cè)量3D形貌分析、大尺寸三維空間測(cè)量、精密傳感測(cè)頭、光柵導(dǎo)軌測(cè)控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢(shì)，具備了從納米到百米為用戶(hù)提供精密測(cè)量解決方案的能力。
