白光干涉儀測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀基于白光干涉原理，以非接觸方式，亞納米分辨率，測量分析樣品表面形貌。它是以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能。
應(yīng)用案例：新能源行業(yè)
引導(dǎo)新能源汽車電池涂膠檢測系統(tǒng)：
采用點(diǎn)成線、線成面的原理，利用白光干涉儀，以根本解決由于工件加工問題為目的，對工件進(jìn)行多點(diǎn)平面擬合，配合工業(yè)機(jī)器人的點(diǎn)運(yùn)動算法，對點(diǎn)軌跡進(jìn)行修正。3D光學(xué)輪廓儀成像原理根據(jù)被檢測工件的三維信息建立起三維模型，利用該模型提取的信息進(jìn)行圖像處理，將獲取到的三維信息發(fā)送給機(jī)器人執(zhí)行動作。
在測量過程中，SuperViewW1白光干涉儀在垂直光軸方向，*快1秒內(nèi)，做一次縱向掃描；在掃描過程中，攝像頭和計算機(jī)系統(tǒng)對干涉條紋變化進(jìn)行采樣和分析，從而以埃級縱向分辨率，構(gòu)建出視場范圍內(nèi)，包括幾百萬像素的數(shù)據(jù)3D形貌地圖。基于干涉原理的白光光學(xué)輪廓儀，縱向分辨率與放大倍率無關(guān)，在低倍率大視場范圍內(nèi)，也可以實現(xiàn)埃級分辨率。光學(xué)輪廓儀以非接觸3D方式檢測和表征樣品表面，不會有損傷樣品表面的風(fēng)險，其3D檢測模式效率也很高。
