SuperViewW1廣東3d光學(xué)輪廓儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。
優(yōu)點(diǎn)
一是非接觸高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件；
二是測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量；
三是不必作探頭半徑補(bǔ)正，光點(diǎn)位置就是工件表面測(cè)量的位置；
四是對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。
SuperViewW1廣東3d光學(xué)輪廓儀的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。其雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。
部分參數(shù)
Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm
表面形貌重復(fù)性：0.1nm
臺(tái)階測(cè)量:重復(fù)性：0.1% 1σ；準(zhǔn)確度：0.75%
在3C領(lǐng)域，SuperViewW1廣東3d光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，SuperView W1可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，SuperView W1可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，SuperView W1可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，SuperView W1可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度；
在軍事領(lǐng)域，SuperViewW1廣東3d光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度。
深圳市中圖儀器股份有限公司是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，專業(yè)覆蓋面廣，專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng)，具備了從納米到百米為用戶提供精密測(cè)量解決方案的能力。
