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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè),致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

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sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家中圖儀器chotest

型號: SJ6000系列
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 注釋 如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

--- 產(chǎn)品詳情 ---

產(chǎn)品簡介

sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。它集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>

sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家

sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

 

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

 

產(chǎn)品功能

(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

 

測量軟件

(1)友好的人機(jī)界面;

(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;

(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業(yè)專屬模板定制。

 

產(chǎn)品應(yīng)用

1.測量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。

sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家

導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機(jī)床工作臺的平面度和垂直度。

sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家

機(jī)床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋,可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài),并及時進(jìn)行調(diào)整和修正,確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。

sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家

機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋,可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應(yīng)用,激光干涉儀還可以用于測量機(jī)床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系,從而檢測和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動情況,及時發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài),保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。

sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家

對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

 

sj6000國產(chǎn)激光干涉儀廠家非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動系統(tǒng),不僅僅局限于運(yùn)動導(dǎo)軌,還可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,減少維護(hù)成本和停機(jī)時間,為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。

 

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

動態(tài)采集頻率:50 kHz

預(yù)熱時間:≤ 6分鐘

工作溫度范圍:(0~40)℃

存儲溫度范圍:(-20~70)℃

環(huán)境濕度:(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離:(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測量范圍:±10°

平面度測量范圍:±1.5mm

直線度測量范圍:±3mm

垂直度測量范圍:±3/M mm/m

便攜箱尺寸:613*460*230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量:18kg

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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    BumpMetrologysystem—BOKI_1000在半導(dǎo)體行業(yè)中,Bump、RDL、TSV、Wafer合稱先進(jìn)封裝的四要素,其中Bump起著界面互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用。Bump是一種金屬凸點(diǎn),從倒裝焊FlipChip出現(xiàn)就開始普遍應(yīng)用,Bump的形狀有多種,常見的為球狀和柱狀,也有塊狀等其他形狀,下圖所示為各種類型的Bump。Bump起著界面之間的電氣互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用,從Bondwire
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