特性

· 4156C提供4個(gè)內(nèi)置的高分辨率的源/監(jiān)控單元（HPSMUs），兩個(gè)電壓源單元（VSUs）和兩個(gè)電壓監(jiān)控單元（VMUs）

· 1 fA 和0.2?UV的測(cè)試精度可滿足開發(fā)新工技術(shù)和評(píng)價(jià)材料

· 全Kelvin，每個(gè)HRSMU有激勵(lì)源、感應(yīng)和接地端

· 完成準(zhǔn)靜態(tài)的電容對(duì)電壓測(cè)試

· 自動(dòng)提取處理參數(shù)而不需要人工操作屏幕光標(biāo)

· 用極低泄漏的SMUs測(cè)量特有泄露特性

· 用集成的脈沖發(fā)生器和選擇開關(guān)自動(dòng)完成器件表征

· 用內(nèi)置的應(yīng)力模式完成晶片的可靠性測(cè)試

· 用圖形用戶界面完成“點(diǎn)擊”測(cè)試

· 基于Windows環(huán)境的圖形數(shù)據(jù)分析能力

· 旋鈕掃描功能可以快速檢驗(yàn)探針是否接觸正常

· 待機(jī)模式不需要外部電源

· 觸發(fā)模式可以同步AC/DC測(cè)試。

· IBASIC 用戶功能可以繪圖和分析數(shù)據(jù)。

Agilent4156C精密半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀

Agilent4156C精密半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀是Agilent下一代的精密半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀，4156C為高級(jí)器件表征提供了高精

頂 ji 參數(shù)分析的實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)。

較高的低電流、低電壓分辨率和內(nèi)置準(zhǔn)靜態(tài)CV測(cè)量能力，4156C還為以后和其他的測(cè)量?jī)x器的擴(kuò)展使用提供了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

41501B擴(kuò)展測(cè)量能力到1A/200V，并給Agilent4156C增加一個(gè)低的噪聲接地單元和雙脈沖發(fā)生器。