中圖儀器SJ6000高端激光干涉測量儀可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結合軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析。儀器以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

產品功能

1.可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

2.可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3.可實現龍門機床雙軸同步測量；

4.可實現對機床回轉軸的測量與校準；

5.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

6.具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

7.支持手動或自動進行環境補償。

檢定測長機

對機床精度再校準
 

SJ6000高端激光干涉測量儀測量機床直角如機器軸垂直度誤差測量（數控機床、坐標測量機等），是通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度，即在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調整，光學直角尺測量中，允許調整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。

量程精度（部分）

穩頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m

SJ6000高端激光干涉測量儀檢測光刻機