激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)，是高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
中圖SJ6000機(jī)床用的激光干涉檢測儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
性能特點(diǎn)
1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。
④SJ6000機(jī)床用的激光干涉檢測儀配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實(shí)時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦蠂鴥?nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價比高
性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。
SJ6000機(jī)床用的激光干涉檢測儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
技術(shù)規(guī)格
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預(yù)熱時間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事項：
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
