中圖SJ6000工業(yè)激光干涉儀品牌具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點，在計量領(lǐng)域中可作為長度基準以及設(shè)備校準工具。廣泛應用于數(shù)控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領(lǐng)域。
技術(shù)規(guī)格
| 主機 | 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動態(tài)采集頻率 | 50 kHz | |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ | |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ | |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH | |
| 環(huán)境補償單元 | 空氣溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃ |
| 材料溫度傳感器 | ±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃ | |
| 空氣濕度傳感器 | ±6%RH (0~95)%RH | |
| 大氣壓力傳感器 | ±0.1kPa (65~115)kPa | |
| 線性測量 | 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ | |
| 測量分辨力 | 1nm | |
| 測量速度 | 4m/s |
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
線性測量配置及使用方法
線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。
線性鏡組可以針對不同方向的運動軸而搭建相應的測量光路。
SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。
線性測量中目標位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標采集方式，即：被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點，當運動軸移動到設(shè)定的定位點時，需設(shè)置停留時間，以供SJ6000測量軟件進行當前點的數(shù)據(jù)采集。
線性測量應用
SJ6000工業(yè)激光干涉儀品牌廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
精度高
中圖SJ6000工業(yè)激光干涉儀品牌以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
功能廣
（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等；
（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。
