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摘要：摘要是本文提出了一種應用于微機電系統嵌入式傳感器片上系統新工藝上的靜電放電防護器件的電路結構。這個靜電放電防護結構采用了以地端為參考電位的，多指條晶閘管類器件，包括以下幾個部分1)輸入/輸出防護，2）電源鉗位3）微機電處理過程中的內部傳感器電極。本文也提出了一種在有限的芯片面積下實現靜電放電防護等級要求的多指條版圖布局。這種靜電放電防護設計體系在器件級和片上系統級都得到了測試和驗證，有效性和魯棒性都得到了證實。測試數據表明采用了本防護體系的片上系統在不引入閂鎖，漏電流只有10-10A的情況下承受了4.1kV的人體放電模式的靜電測試。
關鍵詞：靜電放電；片上系統氣體傳感器；微機電系統；晶閘管；回滯曲線
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