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摘 要 提出一種用于SO2監測的多孔硅光學傳感方案,其原理是以光催化氫化硅烷化處理的多孔硅作為敏感材料,根據多孔硅光致發光峰猝滅程度與SO2濃度間定量關系,實現SO2傳感。實驗采用電化學方法將n2型單晶硅腐蝕形成多孔硅并進行氫化硅烷化處理,獲得敏感膜層;研究多孔硅發光特性、傳感特性、選擇性和穩定性。結果表明:該多孔硅具有良好光致發光性能,在大氣環境和堿性介質中穩定性較高;當SO2體積分數為5×10-5～2.5×10-4時,多孔硅傳感SO2的過程服從Stern2Volmer方程,其Stern2Volmer常數k為5×1024;同時,體積分數為0.05的CO2或NO以及體積分數為0.01的CO或NO2對多孔硅光致發光峰強度無影響。用本法測定樣品中SO2含量,結果滿意。
關鍵詞 多孔硅,光致發光,二氧化硫,氫化硅烷化
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