流體壁面剪應(yīng)力的測量對于流動減阻、湍流結(jié)構(gòu)機理研究等方面都具有重要的作用，但是這一物理量較難測得。近年來，MEMS （Micro-electromechanical System，微電子機械系統(tǒng)）技術(shù)的發(fā)展推動了傳感器尺寸的微小化，MEMS傳感器為壁面剪應(yīng)力的測量提供了一種準(zhǔn)確有效的手段。國內(nèi)外許多研究機構(gòu)已經(jīng)開展了各類MEMS壁面剪應(yīng)力傳感器的設(shè)計制造。為了關(guān)聯(lián)壁面剪應(yīng)力和輸出信號，評估傳感器的工作性能指標(biāo)，許多研發(fā)單位開展了傳感器的標(biāo)定研究工作，但是至今為止尚未有統(tǒng)一的標(biāo)定方法形成。關(guān)于MEMS壁面剪應(yīng)力傳感器的研究進展，Lennart Lofdahl于1999年介紹了測量壁面剪應(yīng)力的傳統(tǒng)方法和MEMS方法，其中重點介紹了熱膜型MEMS壁面剪應(yīng)力傳感器的測量原理，標(biāo)定公式以及時間和空間分辨率。Ali Etebari于2008年對最新的研究成果進行了概述。

　　MEMS壁面剪應(yīng)力傳感器的種類有很多，按測量方式的不同可分為直接測量型和間接測量型。浮動單元可作為直接測量方式的敏感元件，浮動單元式剪應(yīng)力傳感器又可分為壓縮壓阻式、電容式和光學(xué)式的。此外，基于光學(xué)或聲學(xué)原理以及基于柔性微柱位移酌傳感器也屬于直接測量類型，熱膜型的或底層隔板型測量方法屬于間接測量類型。在實際中研究應(yīng)用最多也最經(jīng)典的是熱膜型的MEMS壁面剪應(yīng)力傳感器。本文主要對熱膜型MEMS壁面剪應(yīng)力傳感器的測量原理、特點及其行靜態(tài)標(biāo)定和動態(tài)標(biāo)定法作介紹。
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