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本文主要從下面四個方面(溫度量測方法，結點溫度測試方法，應用實例，誤差根源)對結點溫度量測的進行探討。
半導體結點(從IC中數以百萬計的晶體管到實現高亮度LED的大面積復合結點)可能由于不斷產生的熱而在早期發生故障。當特征尺寸縮小且電流要求提高時，這將成為一個非常嚴重的問題，甚至正常操作也可能聚積熱量，使結點溫度升高。溫度上升可能增加結點內的缺陷數量，從而導致器件的性能下降、生命周期縮短。
采用四線測量方法或者Kelvin測量方法將SMU與器件相連接。通過感應DUT[device under test]周圍而不是SMU[源測量單元]source measure unit.輸入端的電壓，四線電壓測量能降低電壓測量中由引線電阻導致的誤差。?
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