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集成電路制造工藝簡介和版圖設(shè)計技術(shù)以及電參數(shù)設(shè)計規(guī)則的詳細(xì)概述

2018-06-15 | pdf | 1.79 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  制造集成電路所用的材料主要包括硅(Si)、 鍺(Ge)等半導(dǎo)體, 以及砷化鎵(GaAs)、鋁鎵砷(AlGaAs)、 銦鎵砷(InGaAs)等半導(dǎo)體的化合物,其中以硅最為常用。

  按所制造器件結(jié)構(gòu)的不同, 可把工藝分為雙極型和MOS型兩種基本類型。 由雙極工藝制造的器件, 它的導(dǎo)電機理是將電子和空穴這兩種極性的載流子作為在有源區(qū)中運載電流的工具, 這也是它被稱為雙極工藝的原因。 MOS工藝又可分為單溝道MOS工藝和 CMOS工藝。

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