濾波器是射頻微波系統必不可少的重要組成部分，性能優異的濾波器模塊是射頻微波通信系統能正常工作的必要前提。傳統的微波濾波器雖然在參數指標上有很優秀的性能，但是其龐大的體積不但使得相應的微波通信系統更加龐大，并使產品成本也一起隨之上升；同時，隨著MMIC（單片）技術發展，對微波濾波器也提出了集成化的高要求。 MMIC濾波器，其高的插入損耗和低的Q值限制了自身的發展。近十多年來，隨著MEMS（微機電系統）工藝和MEMS器件的成熟，給微波濾波器的集成化注入了新的活力。與傳統的VLSI工藝相比，MEMS技術在不犧牲器件性能的前提下，可以實現微波無源器件的集成化。基于MEMS工藝的微波MEMS濾波器不僅具有優異的頻率選擇能力（高Q）和低的插入損耗，而且在體積上遠小于傳統微波濾波器，易于集成，為微波單片集成系統的實現奠定了良好的基礎，MEMS濾波器已成為國內外研究的熱點。按濾波器的用途分，微波MEMS濾波器可分為可調節MEMS濾波器和非調節MEMS濾波器兩大類，文章將對這兩類MEMS濾波器進行分類討論。

　　1、MEMS可調濾波器

　　由于現代微波通信雷達系統便攜化和通用化的發展需求，實現能夠軟件控制的可編程微波收發系統是現代微波通信雷達系統的重要發展方向。能根據需求調節頻率選擇范圍的微波濾波器是微波系統具有重構性的基礎；同時，在通信系統的前端，通過可調濾波器，實現通信系統信道的選擇也是一種新的系統解決方案。傳統可調濾波器不易實現集成，MEMS可調濾波器以其優異的性能，成為了突破射頻微波系統通用性不強的約束的最佳選擇。 MEMS可調濾波器可以分為三類：（1）磁場調節濾波器；（2）電場調節濾波器；（3）機械調節濾波器。磁場調節濾波器（例如YIG）和機械調節濾波器體積巨大，難以集成，在此不做討論。該節主要討論基于MEMS開關和MEMS可變電容的兩類 MEMS可調濾波器。