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依托先進(jìn)的半導(dǎo)體器件仿真設(shè)計平臺,天津賽米卡爾科技有限公司技術(shù)團(tuán)隊實(shí)現(xiàn)了擊穿電壓為420 V的GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管的設(shè)計方案(SFP-SBD:具有側(cè)壁場板的GaN 基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管),并在藍(lán)寶石襯底上制備了該器件結(jié)構(gòu)。技術(shù)團(tuán)隊對所制備的器件進(jìn)行了電流-電壓測試[圖1(a)],通過在器件側(cè)壁及臺面邊緣處制備場板結(jié)構(gòu),有效降 低了臺面邊緣處的電勢及電流密度[圖1(b)和(c)],從而抑制了因刻蝕工藝導(dǎo)致的側(cè)壁缺陷對載流子的復(fù)合效應(yīng)。
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