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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>共聚焦顯微鏡各部分名稱和功能

共聚焦顯微鏡各部分名稱和功能

2023-02-15 | docx | 0.72 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

以共聚焦技術為原理,用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的VT6000共聚焦顯微鏡,可對材料樣品的表面形貌直接進行成像,橫向分辨率可達1nm,Z軸分辨率可達0.5nm。不僅可對樣品表面形貌進行測量,提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,還提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

 

構造組成主要包括:顯微鏡、激光光源、掃描裝置、檢測器、計算機系統(包括數據采集,處理,轉換,應用軟件)、圖像輸出設備、光學裝置和共聚焦系統。

 

功能

在陶瓷、金屬、半導體芯片等材料科學及生產檢測領域中,共聚焦顯微鏡有著廣泛的應用。以共聚焦顯微技術為原理的共聚焦顯微鏡,對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,從而獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,實現器件表面形貌3D測量。

 

可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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