微加工系統(tǒng)設(shè)計(jì)與控制
課程內(nèi)容介紹1.主要目的:
??? a.在于培育學(xué)生微加工系統(tǒng)各項(xiàng)模塊組件組成、設(shè)計(jì)、感測(cè)原理與機(jī)電接口控制技術(shù)。
??? b.了解微加工系統(tǒng)各項(xiàng)技術(shù)，包括：
制程控制、壓電組件、微奈米平臺(tái)進(jìn)給驅(qū)動(dòng)器與伺服控制、
位置量測(cè)、計(jì)算機(jī)整合精密機(jī)電系統(tǒng)、
微細(xì)精密加工系統(tǒng)之機(jī)電結(jié)構(gòu)、
驅(qū)動(dòng)原理以及相對(duì)加工控制之策略。

2.課程特色:
?? 為以微奈米平臺(tái)伺服控制系統(tǒng)為實(shí)例，說(shuō)明微加工系統(tǒng)設(shè)計(jì)與控制概念，提供學(xué)實(shí)際設(shè)計(jì)與操作模塊，培養(yǎng)學(xué)生系統(tǒng)整合與實(shí)作技術(shù)。

3.課程探討內(nèi)容:
? a.智能型材料的使用，如壓電、磁縮…等。
? b.智能型材料的驅(qū)動(dòng)原理與控制電路
? c.智能型材料回授控制電路組立\流程。
? d.藉以仿真軟件了解材料機(jī)電特性與驅(qū)動(dòng)? 模式。
? e.專(zhuān)題實(shí)作

工件夾持系統(tǒng)設(shè)計(jì)微小位移致動(dòng)器簡(jiǎn)介（理論講授）。
電機(jī)致動(dòng)器之基本原理、內(nèi)部構(gòu)造、應(yīng)用實(shí)例與相關(guān)研究方向（理論講授）。
壓電、磁縮致動(dòng)器之基本原理、應(yīng)用實(shí)例與相關(guān)參數(shù)之推導(dǎo)（理論講授）。
結(jié)構(gòu)仿真分析－運(yùn)用有限元素法分析軟件ANSYS，藉由建構(gòu)相關(guān)結(jié)構(gòu)體之模塊化與步驟，模擬分析相關(guān)致動(dòng)器微動(dòng)狀態(tài) 。

驅(qū)動(dòng)與控制電路簡(jiǎn)介（理論講授）
驅(qū)動(dòng)電路原理與設(shè)計(jì)：電機(jī)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器、壓電驅(qū)????? 動(dòng)器、與相關(guān)材料驅(qū)動(dòng)技術(shù)，BJT/MOS FET相關(guān)原理與應(yīng)用（理論講授）
控制電路原理與設(shè)計(jì)：CPLD、FPGA與DSP相關(guān)電路之? 軟硬件教學(xué)（理論講授）
電路仿真分析軟件：Pspice、Orcad、Protel與Matlab之運(yùn)用
實(shí)驗(yàn)－配合致動(dòng)器之驅(qū)動(dòng)器與控制器之設(shè) 計(jì)與實(shí)作
精密位移與速度量測(cè)：光學(xué)感測(cè)原理與相關(guān)應(yīng)用組件說(shuō)明（理論講授）

光學(xué)式、電感式、電容式高分辨率精密傳感器
驅(qū)動(dòng)器電子電路制作
數(shù)字訊號(hào)處理控制板
頻譜分析儀
控制器軟件開(kāi)發(fā)環(huán)境
微動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)軟件
驅(qū)動(dòng)器電子電路設(shè)計(jì)軟件