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低能電子束照射接地絕緣薄膜的負(fù)帶電過(guò)程:為揭示低能電子束照射接地絕緣薄膜的負(fù)帶電過(guò)程及其機(jī)理，建立了同時(shí)考慮電子散射與電子輸運(yùn)的計(jì)算模型，綜合Monte Carlo方法和有限差分法進(jìn)行了數(shù)值模擬，獲得了內(nèi)部空間電荷、泄漏電流和表面電位隨電子束照射的演化規(guī)律2 結(jié)果表明，入射電子因遷移、擴(kuò)散效應(yīng)會(huì)超越通常的散射區(qū)域產(chǎn)生負(fù)空間電荷分布，并經(jīng)過(guò)一定的渡越時(shí)間后到達(dá)接地基板，形成泄漏電流，負(fù)帶電暫態(tài)過(guò)程則隨著泄漏電流的增加而趨于平衡2 在平衡狀態(tài)下，泄漏電流隨電子束能量和電流而增大；薄膜凈負(fù)電荷量和表面電位隨膜厚而增加、隨電子遷移率的增大而降低，隨著電子束能量的變化均會(huì)出現(xiàn)最大值。
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