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本文首先對多晶硅硅芯進行了多次縮比試驗，掌握了多晶硅硅芯在不同環境條
件下的電氣特性，然后分析國內外多晶硅的生長控制技術優缺點，結合多晶硅的
生產原理和自身電氣特性，根據現場還原爐生產需要，設計研發出多晶硅還原爐
加熱集成控制系統。
多晶硅還原爐加熱集成控制系統主要包括預加熱控制系統和加熱調功系統兩
個部分。多晶硅加熱過程可以分為三個階段：預加熱、持續加熱和恒溫加熱。
加熱調功系統是多晶硅還原爐加熱集成控制系統中最重要的部分，而DSP自
動調功器是加熱調功系統的核心部分。
本論文主要介紹多晶硅還原爐自動調功器的硬件系統設計以及設計中要解決
的問題。具體內容包括以下幾個方面：
1、模擬通道部分：
2、數字通道部分：
3、DSP／CPLD部分：
4、電源部分
本文所設計的DSP自動調功器在實驗室調試成功后，已有6塊提交工作現場
使用，現場實際使用情況證明本文所設計的DSP自動調功器性能上滿足了多晶硅
還原爐加熱集成控制系統需要，抗干擾能力達到了工業現場運行的要求。
件下的電氣特性，然后分析國內外多晶硅的生長控制技術優缺點，結合多晶硅的
生產原理和自身電氣特性，根據現場還原爐生產需要，設計研發出多晶硅還原爐
加熱集成控制系統。
多晶硅還原爐加熱集成控制系統主要包括預加熱控制系統和加熱調功系統兩
個部分。多晶硅加熱過程可以分為三個階段：預加熱、持續加熱和恒溫加熱。
加熱調功系統是多晶硅還原爐加熱集成控制系統中最重要的部分，而DSP自
動調功器是加熱調功系統的核心部分。
本論文主要介紹多晶硅還原爐自動調功器的硬件系統設計以及設計中要解決
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1、模擬通道部分：
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本文所設計的DSP自動調功器在實驗室調試成功后，已有6塊提交工作現場
使用，現場實際使用情況證明本文所設計的DSP自動調功器性能上滿足了多晶硅
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