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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>APC技術在刻蝕工藝過程控制中的研究進展

      APC技術在刻蝕工藝過程控制中的研究進展

      2009-12-19 | rar | 343 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      APC 技術在刻蝕工藝過程控制中的研究進展
      王巍 1，吳志剛2
      1（重慶郵電學院光電工程系， 重慶 400065）
      2（電子科技大學電子工程學院，成都 610054）
      摘要：APC 是一個多層次的控制系統，其包含了實時的設備及工藝控制和非實時的RtR 控制。APC 引入等離子體刻蝕過程控制可極大提高等離子刻蝕機的使用效率和產品成品率，適應當前深亞微米半導體工藝技術發展的需求。針對等離子體刻蝕機及其刻蝕工藝過程控制的需求，本文分別從實時控制和RtR 控制兩個不同層次展開了論述，討論了APC 技術的發展趨勢。
      關鍵詞：等離子體刻蝕，APC，實時反饋控制，Run-to-Run 控制
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