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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>使用PVT生長SiC晶體的籽晶固定方法詳細說明

使用PVT生長SiC晶體的籽晶固定方法詳細說明

2020-04-09 | pdf | 0.54 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  本發明提供一種 PVT 法生長 SiC 晶體的籽晶固定方法,包括,將所述籽晶晶片邊緣通過粘結劑粘接于具有一定寬度以能可靠粘結固定所述籽晶的環形連接件的一端面 ;將所述連接件套裝在端部周邊邊緣開槽、且所述槽尺寸與所述連接件匹配的籽晶托上,使所述連接件可靠固定于所述籽晶托,并使所述籽晶晶片緊貼所述端部的端面。本發明可以確保籽晶與籽晶托之間實現可靠的粘結固定,并且避免在籽晶背面涂刷粘結劑導致的不良影響,同時,籽晶中心大部分區域與籽晶托緊密接觸,溫度梯度分布均勻,有利于 SiC 晶體的均勻生長,進一步提高 SiC 晶體的質量。

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