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主要論述硅諧振微傳感器中微現(xiàn)象測量。討論了微現(xiàn)象測量中有關(guān)的技術(shù):激勵功率控制,超聲頻諧振頻率的測量,頻率特性的測定,品質(zhì)因數(shù)的確定,克服電熱效應(yīng)的不良影響,同頻干擾的抑制等。
關(guān)鍵詞: 信息處理; 微現(xiàn)象測量; 諧振微傳感器
Abstract : Micro phenomena measurement to silicon resonant microsensor are resented in this paper. The main testing tecnologies are :controling the excitation of the micro structure ,measuring the supersonic resonant frequency ,testing the freguency characteristic ,determining the quality factor ,overcomining the blight of electro2thermo effect ,restraining the ca2 pacitor2coupled interference.
Key words : Information processing ;Micro phenomena measurement ;Resonant microsensor
關(guān)鍵詞: 信息處理; 微現(xiàn)象測量; 諧振微傳感器
Abstract : Micro phenomena measurement to silicon resonant microsensor are resented in this paper. The main testing tecnologies are :controling the excitation of the micro structure ,measuring the supersonic resonant frequency ,testing the freguency characteristic ,determining the quality factor ,overcomining the blight of electro2thermo effect ,restraining the ca2 pacitor2coupled interference.
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