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針對(duì)雙光纖F—P 干涉儀測(cè)量高精度表面粗糙度的原理, 提出波長(zhǎng)的空間掃描方法, 并對(duì)其構(gòu)成進(jìn)行了分析。
關(guān)鍵詞 光纖傳感器 粗糙度測(cè)量 波長(zhǎng)掃描
Abstract The space scan method of wavelength is put fo rward fo r the p rincip le of the dual FFP I senso r measur2 ing p recise surface roughness, and it s basic const ruct ion is discussed.
Key words Op t ical fiber senso r Roughness measurement Wavelength scanning
關(guān)鍵詞 光纖傳感器 粗糙度測(cè)量 波長(zhǎng)掃描
Abstract The space scan method of wavelength is put fo rward fo r the p rincip le of the dual FFP I senso r measur2 ing p recise surface roughness, and it s basic const ruct ion is discussed.
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