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根據驅動模態頻率和檢測模態的頻率相互匹配, 用有限元法優化了振子框架式微機械陀螺的結構尺寸; 根據建立的陀螺振動的等效電路模型, 對檢測振動的性能進行了模擬分析, 該模型為傳感器與接口電路的整體模擬打下了基礎。
關鍵詞: 微機械陀螺; 優化設計; 等效電路模型; 模擬
Abstract: F irst acco rding to thematch ing of drivingmode frequency and detect ion mode frequency, the st ruc2 ture dimensions of the comb2gimbal m icromach ined gyro scope are op t im ized using a finite element method (FEM ). Then an equivalent circuit model of gyro scope’s o scillat ing p ropert ies is derived, w h ich is available in detect ion o scillat ing p ropert ies analysis and also enables the senso r simulat ion w ith the interfacing elect ron2
ics.
Key words: m icromach ined gyro scope; op t imum design; equivalent circuit model; simulat ion
關鍵詞: 微機械陀螺; 優化設計; 等效電路模型; 模擬
Abstract: F irst acco rding to thematch ing of drivingmode frequency and detect ion mode frequency, the st ruc2 ture dimensions of the comb2gimbal m icromach ined gyro scope are op t im ized using a finite element method (FEM ). Then an equivalent circuit model of gyro scope’s o scillat ing p ropert ies is derived, w h ich is available in detect ion o scillat ing p ropert ies analysis and also enables the senso r simulat ion w ith the interfacing elect ron2
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