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傳統(tǒng)速度檢波器由于內(nèi)在結(jié)構(gòu)的限制,其技術(shù)性能已不能滿足現(xiàn)代高分辨率地震勘探數(shù)據(jù)采集的要求。美國I/ O 公司利用MEMS 技術(shù)研制開發(fā)的加速度傳感器具有良好的頻率響應(yīng)特性,可在檢波器內(nèi)部進(jìn)行模/ 數(shù)轉(zhuǎn)換,實(shí)現(xiàn)檢波器數(shù)字信號輸出。文章對MEMS 技術(shù)特點(diǎn)及發(fā)展現(xiàn)狀、MEMS 加速度傳感器結(jié)構(gòu)及主要技術(shù)性能做
簡要介紹,并給出了傳統(tǒng)檢波器與MEMS 加速度傳感器野外數(shù)據(jù)采集的具體實(shí)例。
關(guān)鍵詞 MEMS 技術(shù) 加速度傳感器 頻率響應(yīng) 地震勘探
簡要介紹,并給出了傳統(tǒng)檢波器與MEMS 加速度傳感器野外數(shù)據(jù)采集的具體實(shí)例。
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