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本文提出一種新的用于CMO S 圖像傳感器像素的光電檢測(cè)器——雙極結(jié)型光柵晶體管。由于引入p+ n 注入結(jié), 光電荷的讀出速率大大增加, 改善了CMO S 圖像傳感器的工作速率和響應(yīng)靈敏度。盡管傳統(tǒng)的光電集成電路的電路級(jí)模擬采用微電子集成電路的模擬方法, 但是光電子集成電路不僅含有微電子器件和電信號(hào)還含有光電檢測(cè)器和光信號(hào), 采用傳統(tǒng)的集成電路模擬方法有其局限性。本文提出一種行為級(jí)模擬方法(光電子檢測(cè)器設(shè)計(jì)的新方法, 利用C、MA TLAB 和HSP ICE 等語(yǔ)言寫出光電子器件的模擬器) 來(lái)模擬分析雙極結(jié)型光柵晶體管的特性。基于0. 6 Lm CMO S 工藝的分析結(jié)果表明雙極結(jié)型光柵晶體管在不同柵氧化層厚度隨柵壓變化與傳統(tǒng)光柵晶體管的特性一樣, 但光電流密度呈指數(shù)式增長(zhǎng)且光電流密度增大, 因此改善了CMO S 圖像傳感器的工作速率和響應(yīng)靈敏度。
關(guān)鍵詞: 雙極結(jié)型光柵晶體管; 光電檢測(cè)器; CMO S 圖像傳感器; 行為級(jí)模擬方法
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