壓阻式壓力傳感器具有精度高，靈敏度高，穩(wěn)定性好、頻率響應(yīng)范圍寬、易于小型化，便于批量生產(chǎn)與使用方便等特點(diǎn)，是一種發(fā)展迅速，應(yīng)用廣泛的新型傳感器。但是由于半導(dǎo)體的溫度特性，壓阻式壓力傳感器會(huì)發(fā)生溫度漂移，在相當(dāng)程度上限制了壓阻式壓力傳感器的應(yīng)用。論文針對(duì)壓阻式壓力傳感器在測量當(dāng)中易發(fā)生溫度漂移的缺點(diǎn)，研制了一種智能化的壓阻式傳感器溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。該方法利用現(xiàn)代信號(hào)調(diào)理技術(shù)，以溫度調(diào)理芯片為核心元件，采用計(jì)算機(jī)通過三次樣條插值法對(duì)采集的溫度補(bǔ)償參數(shù)進(jìn)行

　　擬合，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)壓阻式壓力傳感器溫度漂移的高精度補(bǔ)償。而且由于引入了高性能的單片機(jī)控制模塊，使得此系統(tǒng)一次性可對(duì)多個(gè)壓阻式壓力傳感器進(jìn)行溫度補(bǔ)償。論文的主要工作如下：

　　1.對(duì)壓阻式壓力傳感器產(chǎn)生溫度漂移原理進(jìn)行了分析，深入分析了國內(nèi)外對(duì)擴(kuò)散硅壓力傳感器溫度補(bǔ)償?shù)姆椒ǎ偨Y(jié)利弊，確定了以數(shù)字化的溫度調(diào)理芯片為主體的補(bǔ)償方案。

　　2.深入研究了MAX1452溫度調(diào)理芯片的補(bǔ)償原理，制定了系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案，完成傳感器補(bǔ)償原理的推導(dǎo)論證工作。

　　3.根據(jù)總體設(shè)計(jì)要求劃分溫度補(bǔ)償系統(tǒng)的各個(gè)功能模塊，并確定各個(gè)模塊的具體實(shí)現(xiàn)方案，以及繪制硬件電路板。

　　4.針對(duì)MAX1452的補(bǔ)償原理進(jìn)行軟件開發(fā)，設(shè)計(jì)傳感器溫度漂移的補(bǔ)償流程。通過VC+ACCESS數(shù)據(jù)庫的方式實(shí)現(xiàn)了高效的用戶界面，并采用三次樣條曲線對(duì)補(bǔ)償參數(shù)進(jìn)行擬合。

　　5.針對(duì)單片機(jī)控制模塊，在MPLAB8.30開發(fā)環(huán)境下，完成程序的開發(fā)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)多路傳感器補(bǔ)償模塊的控制。

　　6.利用此補(bǔ)償系統(tǒng)對(duì)傳感器進(jìn)行補(bǔ)償并對(duì)其溫度漂移測試，實(shí)驗(yàn)表明，補(bǔ)償后的傳感器非線性誤差小于0.8%F.S，輸出信號(hào)的溫度漂移比補(bǔ)償之前降低了一個(gè)數(shù)量級(jí)。