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標簽 > 微機電系統
微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統其內部結構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統。
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Analog Devices Inc. ADIS1657x精密MEMS IMU模塊數據手冊
Analog Devices ADIS1657x 精密 微機電系統 (MEMS) 慣性測量單元 (IMU) 模塊包括三軸陀螺儀和三軸加速計。這些模塊中的...
DLP2000 0.20英寸nHD DLP?數字微鏡器件數據手冊
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DLP4710 0.47英寸1080p DLP? 數字微鏡器件數據手冊
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加速度傳感器常用的有兩種,一種是基于壓電效應的壓電式加速度傳感器,另一種是基于微機電系統(MEMS)技術的微型加速度傳感器。 壓電式加速度傳感器是利用壓...
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來源:光明網,謝謝 編輯:感知芯視界 Link 5月8日,微納傳感與智能微系統重慶市重點實驗室在北京理工大學重慶微電子研究院(下稱北理工重研院)揭牌成立...
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