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陽極鍵合技術(shù)廣泛應用于MEMS器件的制備過程中

1969年，美國的Wallis和Pomerantz兩位研究人員首次提出了陽極鍵合技術(shù)，其鍵合方法如圖1所示。陽極鍵合目前在硅片與玻璃鍵合中得到了較為廣泛...

2020-06-17 標簽：壓力傳感器微機電系統(tǒng)MEMS器件 1.4萬 0

MEMS器件的四大分類介紹

MEMS器件以硅為主要材料。硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當。密度類似于鋁，熱傳導率接近銅和鎢，因此MEMS器件機械電氣性能優(yōu)良。它集中了當今科學技術(shù)發(fā)...

2019-02-12 標簽：mems器件 1.3萬 0

PZT壓電薄膜MEMS器件聯(lián)合實驗室落戶蘇州

該壓電MEMS實驗室將有利于壯大蘇州MEMS產(chǎn)業(yè)實力，也有利于加快中國MEMS企業(yè)創(chuàng)新步伐。

2019-06-10 標簽：芯片 MEMS器件愛發(fā)科 6045 0

MEMS器件類型和MEMS應用

微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)使用半導體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機械和機電元件。MEMS設備可以從沒有運動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到具...

2020-07-22 標簽：mems MEMS器件 5904 0

MEMS技術(shù)制作的新一代硅腔濾波器芯片

公司擁有國際先進水平的6英寸MEMS工藝線和世界領(lǐng)先的產(chǎn)品測試標定設備，是國家高新技術(shù)企業(yè)、科技部重大科學儀器專項資助單位。

2020-06-25 標簽：傳感器 MEMS器件濾波器芯片 5330 0

IMT宣布提供8英寸晶圓MEMS加工服務

IMT日前正式宣布：公司現(xiàn)已可提供8英寸（200mm）晶圓微電子機械系統(tǒng)（MEMS）工藝加工服務，同時公司還可以為MEMS行業(yè)發(fā)展提供空前豐富的其他資源...

2019-06-13 標簽：半導體 MEMS器件 8英寸晶圓 3663 0

具有懸浮結(jié)構(gòu)的MEMS器件表面微加工方法

近年來，微機電（MEMS）開關(guān)因其高線性度、低插損、低能耗、高開關(guān)比以及可集成性等優(yōu)異性能獲得了廣泛關(guān)注。MEMS開關(guān)可以被應用于自動化測試設備、寬帶儀...

2020-08-11 標簽：mems MEMS器件 3518 0

利用激光測振技術(shù)提升MEMS器件仿真精度

設計和開發(fā)MEMS器件涉及大量的數(shù)學仿真。在制造過程中進行實驗驗證，不僅成本昂貴且非常耗時。為了精準地預測系統(tǒng)響應，需要驗證仿真模型。但是，當需要用模型...

2019-11-30 標簽：MEMS器件光刻技術(shù)激光成像 3369 0

計算機視覺方向簡介之視覺慣性里程計

VIO-SLAM Visual-Inertial Odometry（VIO）即視覺慣性里程計，有時也叫視覺慣性系統(tǒng)（VINS，visual-inerti...

2021-04-07 標簽：傳感器噪聲 MEMS器件 2986 0

行業(yè)迎來MEMS器件熱細數(shù)ADI近年MEMS新品發(fā)布

近年來，隨著消費電子領(lǐng)域的快速發(fā)展，MEMS器件正式進入了人們的視線。面對當前的MEMS器件熱，電子發(fā)燒友網(wǎng)在這里先為大家整理了ADI近年來發(fā)布的MEM...

2012-12-12 標簽：ADI MEMS MEMS器件 2723 0

MEMS器件的低成本微慣性導航系統(tǒng)設計

設計了一款基于MEMS陀螺和MEMS加速度計的低成本微慣性導航系統(tǒng)。采用“四元數(shù)”法進行姿態(tài)計算，通過比力變換、積分

2010-12-29 標簽：MEMS器件導航系 2630 0

MEMS器件發(fā)展勢不可擋:未來MEMS市場將持續(xù)增長

隨著便攜消費電子的走熱，MEMS器件得到了爆發(fā)式的增長。短短兩年時間MEMS器件成為消費電子領(lǐng)域炙手可熱的器件，近幾年都會保持高速增長趨勢。現(xiàn)在讓我們一...

2013-01-23 標簽：MEMS器件 MEMS麥克風 MEMS磁力計 2604 0

漢威科技布局MEMS代工廠，收購納杰微51%股份

近期，國內(nèi)氣體傳感器龍頭廠商漢威科技收購嘉興市納杰微電子技術(shù)有限公司（簡稱：納杰微）51%股份，

2024-04-07 標簽：陀螺儀壓力傳感器加速度計 1907 0

泛林集團宣布推出全球首款面向量產(chǎn)的脈沖激光沉積（PLD）機臺

據(jù)麥姆斯咨詢報道，泛林集團（Lam Research，納斯達克股票代碼：LRCX）近日宣布推出全球首款面向量產(chǎn)的脈沖激光沉積（PLD）機臺，以賦能基于M...

2024-04-07 標簽：信噪比 MEMS器件脈沖激光 1848 0

玻璃氣密封裝技術(shù)：MEMS器件的理想解決方案之一

通過將微型機械和電子組件集成于單個襯底，微機電系統(tǒng)（MEMS）改變了眾多行業(yè)，促進了高靈敏度和高效能器件的構(gòu)建。

2024-02-21 標簽：晶圓微機電系統(tǒng)MEMS器件 1839 0

我們還離得開MEMS嗎？

　　電子發(fā)燒友網(wǎng)訊【編譯/Triquinne】： MEMS器件無處不在。他們幾乎已經(jīng)滲透到我們生活的每一個方面，永遠地改變了我們和數(shù)字環(huán)境的交互關(guān)系。不...

2012-11-29 標簽：MEMS MEMS加速度計 MEMS器件 1777 1

MEMS器件是封測廠商發(fā)展的助跑器傳感器產(chǎn)業(yè)面臨兩大主要挑戰(zhàn)

據(jù)市場數(shù)據(jù)統(tǒng)計未來五年OSAT市場將持續(xù)保持增長，這主要是受益于MEMS巨大的出貨量，MEMS器件有望成為OSAT廠商的下一個增長點，同時傳感器產(chǎn)業(yè)都將...

2018-01-29 標簽：傳感器 mems器件封測廠 1712 0

碳化硅基MEMS器件助力高性能氣體檢測應用

MEMS器件廣泛應用于機械、光學、射頻、生物等領(lǐng)域，氣體檢測正是其重要應用方向之一。

2024-01-23 標簽：接收器氣體傳感器 MEMS器件 1347 0

宙訊微電子正式對外發(fā)布壓電MEMS代工平臺

據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，南京宙訊微電子科技有限公司（以下簡稱“宙訊微電子”）正式對外發(fā)布壓電MEMS代工平臺，平臺專注于壓電MEMS領(lǐng)域新器件的研發(fā)和量產(chǎn)服務。

2024-03-01 標簽：半導體 SAW MEMS器件 1245 0

宙訊科技憑借射頻MEMS器件榮獲天津大學“海棠杯”校友創(chuàng)新一等獎

創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)，天大擔當。9月30日，第五屆天津大學“海棠杯”校友創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽全國總決賽圓滿落幕，200余人于天津大學（衛(wèi)津路校區(qū)）大學生活動中心共襄盛典，共慶雙節(jié)。

2023-10-09 標簽：濾波器 MEMS器件 1218 0

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