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光學設計之復眼照明系統(tǒng)原理

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2022-11-21 10:13:46764

華為EUV光刻解決相干光無法勻光問題

照明系統(tǒng)3包括視場復眼鏡31(field flyeye mirror,F(xiàn)FM)、光闌復眼鏡 32(diaphragm flyeye mirror,PFM)、中繼鏡組33;其中,中繼鏡組33通常可以包括兩個或者兩個以上的中繼鏡。
2022-11-21 11:09:39689

打造全球探測距離最遠雷達,網(wǎng)通院助力中國復眼成功“開眼”!

網(wǎng)通院研制的“中國復眼”一期雷達組陣系統(tǒng)為我國首套分布式深空探測雷達組陣系統(tǒng)。該系統(tǒng)由4部16米反射面天線和1個控制中心組成,承擔著向深空目標輻射大功率信號及接收深空目標反射的極微弱信號的任務,同時系統(tǒng)需完成四部雷達發(fā)射、接收信號的合成。
2023-02-22 11:00:29636

介電潤濕液體透鏡仿生復眼的設計與仿真

基于液體透鏡的仿生復眼光學系統(tǒng)主要由雙液體透鏡、曲面基底、光闌和平面探測器組成,如圖1(a)所示。透鏡曲面陣列均勻排布如圖1(b)所示,分為4環(huán)(位于曲面基底正中心為第一環(huán)),環(huán)與環(huán)之間以及同一環(huán)子透鏡尺寸相同且緊密相切排布,則每環(huán)子眼透鏡的個數(shù)依次為 1、 6、 12、 18。
2023-04-12 10:39:54526

用于***照明均勻化的微柱面鏡陣列設計

在投影光刻機照明系統(tǒng)中,均勻照明是保證加工出的線條線寬均勻一致的一項重要技術。通常,用于光刻機照明系統(tǒng)的勻光元件有積分棒、衍射光學元件和微透鏡陣列。積分棒勻光的缺點是,限制了照明最大孔徑角
2023-05-17 14:52:061061

如何設計安全、美觀、實用的汽車照明系統(tǒng)

在滿足車輛特定要求和區(qū)域特定法規(guī)的同時提供復雜造型的需求增加了光學設計過程的復雜性。這導致人們更加依賴汽車照明設計軟件來尋找創(chuàng)新的解決方案。高端仿真軟件在開發(fā)此類光學系統(tǒng)方面發(fā)揮著重要作用,因為
2023-05-24 14:46:401333

光學系統(tǒng)設計流程

? 引言 實際光學系統(tǒng)的成像是不完善的,光線經(jīng)光學系統(tǒng)各表面?zhèn)鬏敃纬啥喾N像差,使成像產(chǎn)生模糊、變形等缺陷。像差就是光學系統(tǒng)成像不完善程度的描述。光學系統(tǒng)設計的一項重要工作就是要校正這些像差,使成像
2023-06-13 09:41:01569

光學系統(tǒng)的基本特性

? 任何一種光學儀器的用途和使用條件必然會對它的光學系統(tǒng)提出一定的要求,因此,在我們進行光學設計之前一定要了解對光學系統(tǒng)的要求。這些要求概括起來有以下幾個方面。 一、光學系統(tǒng)的基本特性 光學系統(tǒng)
2023-06-14 10:17:441005

一文看懂石英玻璃復眼透鏡在激光應用中的優(yōu)勢

在日常激光應用中,由光源發(fā)出的光,一般都會有不均勻的現(xiàn)象,如果這些光不經(jīng)過處理直接使用,那么光源的成像就會出現(xiàn)亮度不一的情況,復眼透鏡是由一系列小單元透鏡組合形成。將雙排復眼透鏡陣列應用于照明系統(tǒng)
2023-06-25 11:34:40561

自由曲面光學器件的設計

他優(yōu)點,廣泛地用于各類小型照明系統(tǒng)中。由于LED發(fā)光分布不同于傳統(tǒng)光源,為了提高系統(tǒng)性能,需針對LED來進行光學設計,從而在保證能量利用率的基礎上,進一步實現(xiàn)照明系統(tǒng)的小型化。由于照明系統(tǒng)一般情況下無需
2023-07-14 10:14:13446

深紫外光刻復雜照明光學系統(tǒng)設計

照明系統(tǒng)是光刻機的重要組成部分,其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實現(xiàn)離軸照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學設計為研究方向,對照明系統(tǒng)關鍵單元進行了光學設計與仿真研究。
2023-07-17 11:02:38592

光學圖像信息傳遞系統(tǒng)概述

光學圖像信息傳遞系統(tǒng)構成 圖1.光學圖像信息傳遞系統(tǒng)實例 □ 一個完整的圖像信息處理鏈是光學工程、電子工程和軟件工程的綜合。 □ 系統(tǒng)功能: ? 照明部件: 使被測物體獲得照明均勻、照度恰當、波段
2023-08-09 06:55:45234

偏振光導航技術的原理是什么 復眼偏振光導航傳感器應用

與慣性導航系統(tǒng)相比, 天文導航系統(tǒng)誤差不隨時間積累, 而與GPS等無線電導航技術相比又不易受到欺騙、干擾和破壞. 目前, 現(xiàn)代天文導航系統(tǒng)主要以星敏感器、紫外月球敏感器和紅外地球敏感器作為
2023-08-10 10:10:531887

LightTools中光學系統(tǒng)仿真示例

LightTools把光學和機械元件集合在統(tǒng)一的體系下處理,并配有“放置”光源、發(fā)射光線的非順序面光線追跡的強大功能,使它在系統(tǒng)初步設計、復雜系統(tǒng)設計規(guī)劃、光機一體設計、雜光分析、照明系統(tǒng)設計分析、單位各部門間學術交流和數(shù)據(jù)交換、課題論證或產(chǎn)品推廣等各環(huán)節(jié)中均可發(fā)揮重要的作用,成為人們理想的工具。
2023-09-04 10:09:141134

自動優(yōu)化非成像光學照明系統(tǒng)設計

摘要 :非成像光學系統(tǒng)需要用一定的算法自動優(yōu)化。現(xiàn)階段商用的光學設計軟件有兩種,他們對光學設計非常適用。第一種方法是邊緣光線修正原則。在這種情況下,優(yōu)化的標準是幾何光學中的字詞(舉例來說,準擴展光源
2023-09-05 11:25:55362

基于離軸成像光學系統(tǒng)的設計

? ? ? ? ? 針對自由曲面能提升成像光學系統(tǒng)的性能和校正像差的特點,分析了自由曲面在離軸光學系統(tǒng)中的應用優(yōu)勢。光學系統(tǒng)選用視場角為30°×11°、焦距為150 mm、F數(shù)為3的Cook-TMA
2023-09-10 09:06:32602

復眼照明的基本工作原理是什么?

復眼照明系統(tǒng)是投影儀照明系統(tǒng)中最常見的一種,它是基于柯勒照明原理的一種改進型。它能把光源發(fā)出的圓形光斑轉化為 所需要的矩形光斑的同時提高光斑的照度均勻性。
2023-09-20 09:57:451113

關于自由照明光學系統(tǒng)的簡單了解

照明設計的目的是通過一些精心設計的光學表面來產(chǎn)生規(guī)定的照度/強度分布。由于曲率半徑是傳統(tǒng)球面所能提供的唯一設計自由度,照明光學通常使用非球面來重定向光束。
2023-11-10 17:32:31131

光學知識:照明光學基礎

光學效率是指光源將輸入電能轉換為可見光的效率。光學效率通常用百分比表示,表示光源的能量利用效率。高光學效率的光源能夠更有效地將電能轉化為光能。
2023-11-25 15:12:19344

淺析光刻照明系統(tǒng)復眼透鏡的設計及公差原理

在超大規(guī)模集成電路中,為了實現(xiàn)NA=1.35,波長193nm處分辨率達到 45nm的目標,需要對影響光刻照明均勻性的誤差源進行詳細分析最終確定公差范圍。
2023-11-27 10:35:51393

光學系統(tǒng)設計過程

任何一種光學儀器的用途和使用條件必然會對它的光學系統(tǒng)提出一定的要求,因此,在我們進行光學設計之前一定要了解對光學系統(tǒng)的要求。
2024-01-23 13:46:02167

基于三維超球面的聲學復眼裝置,可用于全向寬帶信號增強

西安交通大學機械工程學院馬富銀教授課題組提出一種基于三維超球面的聲學復眼裝置。模仿對應多個方向的昆蟲復眼系統(tǒng),將多個梯度折射率的亞波長平板超表面聚焦透鏡在空間中組成超球面陣列。
2024-03-18 10:21:2686

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