2.1 實(shí)驗(yàn)

　　研究了以下幾種不同結(jié)構(gòu)和鈍化材料的pin二極管電阻的溫度性能。

　　二極管A：臺(tái)式結(jié)構(gòu)，鉛玻璃鈍化，結(jié)電容小，I層厚度為21μm;

　　二極管B：臺(tái)式結(jié)構(gòu)，Si3N4/Si02復(fù)合介質(zhì)膜鈍化，結(jié)電容最小，擊穿電壓低，I層厚度為5μm;

　　二極管C：平面結(jié)構(gòu)，Si3N4/Si02復(fù)合介質(zhì)膜鈍化，結(jié)電容大，I層厚度為13μm;

　　二極管D：臺(tái)式結(jié)構(gòu)，玻璃鈍化，結(jié)電容最大，I層厚度為85μm。

　　表l和表2是四種二極管的常溫和高低溫下電參數(shù)測(cè)試結(jié)果。

　　2.2 數(shù)據(jù)分析

　　根據(jù)式(5)和表1、2中的數(shù)據(jù)，計(jì)算各溫度下的m值，得到上述四種pin二極管的平均結(jié)電容值(Ci)和m平均值(m)，如表3。并根據(jù)表3，得到壽命因子與二極管結(jié)電容的關(guān)系曲線和趨勢(shì)線，見圖2。

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　　分析上述數(shù)據(jù)，不同的二極管有著不同的載流子壽命因子m值，但m值與二極管的擊穿電壓、器件結(jié)構(gòu)以及鈍化材料沒有太大的關(guān)系，擊穿電壓高二極管的壽命因子不一定大或小，而結(jié)電容相近的二極管，即便鈍化方式不同，但卻有著相近的m值。也就是說(shuō)，結(jié)電容的大小對(duì)m值的影響最大。究其原因，結(jié)面積的大小直接影響著二極管載流子的表面復(fù)合，對(duì)二極管在不同溫度下載流子壽命的大小起著決定性的作用，即在式(1)中，雖然沒有結(jié)電容的因子，但式中載流子壽命τ與pin二極管的結(jié)面積密切相關(guān)，且隨著pn結(jié)面積的減少而減小。

　　由圖2中的趨勢(shì)線可以看出，載流子壽命因子m與結(jié)電容的關(guān)系近似為線性關(guān)系。當(dāng)結(jié)電容達(dá)到0.9 pF時(shí)，載流子壽命因子m=1，由式(4)可知，此時(shí)二極管的電阻與溫度的關(guān)系約為線性關(guān)系，即溫度的上升，導(dǎo)致二極管電阻值的線性增加。m值小于2，根據(jù)式(5)得到：微波pin二極管的溫度系數(shù)是正值，溫度上升，導(dǎo)致了二極管電阻的增加。