高通量，高產(chǎn)量處理系統(tǒng)，SEZ銷售的第一臺Spin-Processor 4200
PHOENIX -SEZ集團(tuán)宣布已將其Spin-Processor 4200系統(tǒng)出售給美國一家大型半導(dǎo)體公司制造商，它拒絕透露。這是SEZ第一次銷售4200，這是一種高通量，高產(chǎn)量，多室旋轉(zhuǎn)處理系統(tǒng)。
SEZ最初在6月交付了Spin-Processor 4200進(jìn)行評估。客戶對設(shè)備進(jìn)行了六個(gè)月的測試，并確定其符合預(yù)期。該設(shè)備將用于200毫米生產(chǎn)中的專有氮化物和氧化物蝕刻。
“我們開發(fā)了4200專門用于高通量應(yīng)用，使我們能夠與批量系統(tǒng)競爭。”首席運(yùn)營官Wolfgang Krammer解釋道。 SEZ America Inc.，總部位于瑞士蘇黎世的美國子公司SEZ Holding AG。“這種高效可靠的清潔工具提供更好的蝕刻均勻性和選擇性，同時(shí)滿足各種晶圓工藝的生產(chǎn)量應(yīng)用，證明SEZ為市場提供了批量系統(tǒng)的卓越替代品。“
Spin-Processor 4200為包括聚合物去除在內(nèi)的各種工藝應(yīng)用提供了經(jīng)濟(jì)高效的產(chǎn)量/占地面積和投資/吞吐量比，稀釋HF蝕刻，高選擇性氧化物去除和非選擇性氧化物去除。快速安裝，低化學(xué)和去離子水消耗和處理成本也是4200的特點(diǎn)。
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