荷蘭阿斯麥(ASML)公司的光刻機(jī)作為世界上最貴最精密的儀器,相信大家都有耳聞,它是加工芯片的設(shè)備。其最先進(jìn)的EUV(極紫外光)光刻機(jī)已經(jīng)能夠制造7nm以下制程的芯片,據(jù)說一套最先進(jìn)的7納米EUV光刻機(jī)價(jià)格高達(dá)1.2億美元,比一架波音737都貴。 下面是最近ASML公布的極紫外光光刻機(jī)內(nèi)部加工時的鏡頭,十分震撼:
在這臺光刻機(jī)中,每秒在真空環(huán)境中,從底部容器流出5萬滴融化的錫液,一對激光束照射每一滴液體產(chǎn)生等離子體,釋放出更短的波長,超高精度的反射鏡引導(dǎo)光線....7納米極紫外線光刻機(jī),分為13個系統(tǒng),3萬個分件,作動時每一分都要精 每臺光刻機(jī)的裝配大約需要50000個零件左右,像德國蔡司的光學(xué)設(shè)備,美國Cymer的光源都是阿斯麥的上游供應(yīng)商。阿斯麥創(chuàng)立于1984年,是從飛利浦獨(dú)立出來的一個半導(dǎo)體設(shè)備制造商,總部位于荷蘭費(fèi)爾德霍芬。
原文標(biāo)題:揭秘:1.2億美元光刻機(jī)內(nèi)部視頻曝光,像科幻片一樣震撼!
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