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SJ6000激光干涉儀的性能特點及應用范圍

牽手一起夢 ? 來源:中圖儀器 ? 作者:中圖儀器 ? 2021-01-06 15:55 ? 次閱讀
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SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現最高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

在很多人的印象中,激光干涉儀主要用于校準機床精度,其實激光干涉儀可以標定數字水準儀的精度。

以往標定數字水準儀的精度采用的是用野外觀測的方法,即通過往返閉合差、高差閉合差或與己知高程點的成果進行比較來評定儀器的精度。這種方法野外工作量大,精度受到外界和觀測者以及已知點成果精度等的影啊不能較客觀地評定儀器本身的精度,也不適合于對儀器的檢測。而使用激光干涉儀與一個標尺,可以達到大于3um的測量精度:將條碼尺置于豎直導軌上,在其尺底端安置激光干涉儀的反射棱鏡用45直角棱鏡將激光束轉向。水準尺的上下移動經過轉向后,將其位移量直接反映到激光干涉儀上,從而實現對數字水準儀的標定。

SJ6000激光干涉儀的性能特點及應用范圍

責任編輯:gt

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