全球四大光刻機(jī)生產(chǎn)商如下:
1.上海微電子
上海微電子簡(jiǎn)稱SMEE,主要致力于半導(dǎo)體裝備泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù)。公司設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路前道、先進(jìn)封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。
2.荷蘭ASML
ASML是一家總部設(shè)在荷蘭埃因霍芬(Eindhoven)的全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一,向全球復(fù)雜集成電路生產(chǎn)企業(yè)提供領(lǐng)先的綜合性關(guān)鍵設(shè)備。
ASML為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機(jī)及相關(guān)服務(wù),TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生產(chǎn)效率最高,應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機(jī)型。
3.佳能
佳能是日本的一家全球領(lǐng)先的生產(chǎn)影像與信息產(chǎn)品的綜合集團(tuán),佳能光刻機(jī)22納米 ,光刻機(jī)是制造微機(jī)電、光電二極體大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備。光刻機(jī)可以分鐘兩種,分別是模板和圖樣大小一致的contact aligner ,曝光時(shí)模板緊貼芯片;第二是類(lèi)似投影機(jī)原理的stepper ,獲得比模板更小的曝光圖樣。
4.尼康
尼康(Nikon),是日本的一家著名制造商,成立于1917年。尼康作為世界上能夠制造商用光刻機(jī)的公司,似乎在這個(gè)領(lǐng)域不被許多普通人知道,許多人只知道尼康的相機(jī)做的好,卻不知道尼康光刻機(jī)同樣享譽(yù)全球。
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