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芯片制造全過程及芯片是如何被點沙成晶的

ss ? 來源:上海海思技術、百度經驗 ? 作者:上海海思技術、百 ? 2021-12-08 13:58 ? 次閱讀
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芯片是如何被點沙成晶的呢?看似無關且不起眼的沙子,富含二氧化硅,而二氧化硅通過高溫加熱、純化、過濾等工藝,可從中提取出硅單質,然后經特殊工藝鑄造變成純度極高的塊狀單晶硅,稱作單晶硅棒(Crystal Ingot)。單晶硅棒根據用途被切割成0.5mm-1.5mm厚度的薄片,即成為芯片的基本原料,硅晶圓片,這便是“晶圓(Wafer)”。

小編將為大家介紹一下芯片制造流程:

1.制作晶圓。使用晶圓切片機將硅晶棒切割出所需厚度的晶圓。

2.晶圓涂膜。在晶圓表面涂上光阻薄膜,該薄膜能提升晶圓的抗氧化以及耐溫能力。

3.晶圓光刻顯影、蝕刻。使用紫外光通過光罩和凸透鏡后照射到晶圓涂膜上,使其軟化,然后使用溶劑將其溶解沖走,使薄膜下的硅暴露出來。

4.離子注入。使用刻蝕機在裸露出的硅上刻蝕出N阱和P阱,并注入離子,形成PN結(邏輯閘門);然后通過化學和物理氣象沉淀做出上層金屬連接電路。

5.晶圓測試。經過上面的幾道工藝之后,晶圓上會形成一個個格狀的晶粒。通過針測的方式對每個晶粒進行電氣特性檢測。

6.封裝。將制造完成的晶圓固定,綁定引腳,然后根據用戶的應用習慣、應用環境、市場形式等外在因素采用各種不同的封裝形式;同種芯片內核可以有不同的封裝形式

整合自:上海海思技術、百度經驗、39度

編輯:jq

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