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科普|硅壓阻式MEMS壓力傳感器精度高、體積小、性能穩(wěn)定

vogreat ? 來源: vogreat ? 作者: vogreat ? 2023-03-27 11:36 ? 次閱讀
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在生活的各個領域中壓力都是一個關鍵參數(shù)。壓力傳感器的種類繁多,如電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器等。但應用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。

壓阻式壓力傳感器是基于半導體材料(單晶硅)的壓阻效應原理制成的傳感器,就是利用集成電路工藝直接在硅平膜片上按一定晶向制成擴散壓敏電阻,當硅膜片受壓時,膜片的變形將使擴散電阻的阻值發(fā)生變化。

國內知名智能傳感器廠商奧松電子,在MEMS領域深耕20余年,自主研發(fā)了APR5852系列硅壓阻式壓力傳感器,配置了專用的 ASIC 芯片和利用 MEMS 技術加工的硅微結構壓力傳感器芯片,采用雙列直插的封裝結構,可以直接安裝在標準的PCB 板上,方便用戶集成與更換。APR5852 系列產品測量的壓力值經(jīng)過傳感器的轉換及電路的放大將以模擬電壓的形式輸出,經(jīng)過溫度補償,具有出色的精度和長期的穩(wěn)定性。

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APR5852壓阻式壓力傳感器

經(jīng)過溫度補償?shù)墓鑹鹤枋綁毫鞲衅鳎瑢崿F(xiàn)大范圍的溫度補償,以及調節(jié)差動放大器的增益來校正傳感器的壓力靈敏度變化,可實現(xiàn)多階壓力、溫度非線性修正。每一個傳感器的出廠都經(jīng)過嚴格的校準和測試,保障并滿足客戶的大規(guī)模應用。

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APR5852系列產品廣泛應用于消費電子、智能家電、醫(yī)療、汽車、工業(yè)自動化、氣象等領域,例如:氣流監(jiān)測儀、暖通空調、通風設備、醫(yī)療器械(呼吸機、監(jiān)護儀)、胎壓計、風速和泄漏探測等產品。

審核編輯黃宇

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