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12.3.1 微機(jī)電傳感器∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-04-29 10:15 ? 次閱讀
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12.3.1 微機(jī)電傳感器

12.3 傳感器

第12章專用碳化硅器件及應(yīng)用

《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》

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