5.2.3 擴(kuò)展缺陷對SiC器件性能的影響∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》
5.2.3 擴(kuò)展缺陷對SiC器件性能的影響
5.2 SiC的擴(kuò)展缺陷
第５章碳化硅的缺陷及表征技術(shù)
《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》
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