按照工作原理的不同,輪廓測量儀可以分為非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)和接觸式輪廓儀(觸針式)。
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀主要是用于產(chǎn)品微觀形貌測量,主要是測微觀粗糙度,精度一般是亞微米和納米級(jí)別的。主要在半導(dǎo)體晶圓加工、3C行業(yè)的蓋板、光學(xué)元器件、超精密加工以及各高等院校實(shí)驗(yàn)室。


SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀粗糙度分析操作步驟:
1、將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定;
2、將夾具放置在載物臺(tái)上;
3、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);
4、使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5、完成掃描設(shè)置和命名等操作;
6、點(diǎn)擊開始測量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會(huì));
7、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“去除外形”,采用默認(rèn)參數(shù),點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8、進(jìn)入分析工具模塊,點(diǎn)擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),增刪參數(shù)類型;
9、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線;
10、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo),選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提取;
11、進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“參數(shù)分析”圖標(biāo),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù),即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
SJ5700觸針式輪廓儀主要用于零件輪廓尺寸測量,比如汽配行業(yè)、軸承行業(yè)、五金工具、機(jī)械加工、緊固件行業(yè)、軸承行業(yè)、模具行業(yè)等等。在進(jìn)行測量的過程中,檢定軟件會(huì)實(shí)時(shí)將測針獲取的參數(shù),在計(jì)算機(jī)屏幕上以二維圖形的方式描繪出輪廓曲線,是一款全自動(dòng)測量的儀器設(shè)備。掃描完成以后,操作人員可以通過輪廓分析工具直接對(duì)生成的輪廓曲線進(jìn)行評(píng)定,得出圓度、角度、距離、間距、直線度等輪廓參數(shù)。操作便捷,功能廣泛。

可對(duì)輪廓進(jìn)行直線度、圓度分析,可評(píng)定的表面輪廓參數(shù)包括:角度、半徑、坐標(biāo)、距離、圓、圓截面,確定各個(gè)點(diǎn)、相交各點(diǎn)、坐標(biāo)軸、直線、垂直線、圓和圓截面等,并可同時(shí)實(shí)現(xiàn):
1.建立回歸直線和圓形;
2.建立點(diǎn)、交點(diǎn)、自由點(diǎn)、中心店、最高點(diǎn)和最低點(diǎn);
3.建立坐標(biāo)系統(tǒng);
4.計(jì)算半徑、距離、角度、坐標(biāo)及線性偏差;
5.實(shí)際值與標(biāo)稱值比較;
6.測量程序自動(dòng)運(yùn)行。
SJ5700觸針式輪廓儀粗糙度測量步驟只需一次按鍵,測針自動(dòng)接觸工件,自動(dòng)調(diào)整測量力,根據(jù)工件表面自動(dòng)調(diào)整移動(dòng)速度,開始全自動(dòng)輪廓掃描,整個(gè)過程無需任何人工操作。一次測量后可同時(shí)完成粗糙度和輪廓評(píng)定,無需更換傳感器。
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測量
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