鎢絲掃描電子顯微鏡的總發射電流和光斑大，抗干擾能力和穩定性好。可在低真空下不充電對非導電樣品進行成像，并可用于形貌觀察、微觀結構分析，以及斷口形貌分析。分析，在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫藥等領域有著廣泛的用途。

工作原理：

通過向電子槍中的鎢絲施加高電壓，使電子槍處于熱激發狀態。在陽極的作用下，熱激發電子槍可以激發電子束。電子束在掃描線圈的磁場控制下，在樣品表面逐點掃描，激發出二次電子和背散射電子等物理信號，被探測器收集，經放大器放大，對圖像進行調制。。鎢絲掃描電鏡適用于大量的常規檢查。

鎢絲掃描電子顯微鏡使用時的一些注意事項：

(1) 新長絲的表面可以吸收一定量的空氣和水蒸氣。當安裝在電子顯微鏡燈管中時，會慢慢從燈絲表面釋放出來，影響燈管的真空度，腐蝕燈絲。因此，新長絲在更換前必須進行“除濕脫氣”。可將其置于45°C的電熱箱中加熱數小時，然后放入透射電子顯微鏡抽膜腔中預排氣數小時，以除去新燈絲上吸附的灰塵。殘余空氣和水蒸氣

(2) 如果干燥后的樣品暫時不用，可以存放在干燥器或真空中。樣品貼附臺后，最好將其放入透射電子顯微鏡膜提取腔中，預抽真空數小時后再放入電子顯微鏡中觀察。

（3）降低飽和點以滿足要求。掃描電子顯微鏡的鎢絲有兩個飽和點：第二飽和點用于高分辨率觀測和攝影。如果對圖像要求不高或者做EDS的話，可以在第一個飽和點下功夫，這樣可以延長燈絲的壽命。

（4）抽高真空后等待幾分鐘，使真空度更高。。在放氣前等幾分鐘，讓燈絲冷卻下來，然后再放氣，以避免燈絲因接觸大氣而過熱而氧化。

(5) 加速電壓不宜過高，滿足要求即可。如果能用低電壓，就不要用高電壓。。當放大倍數不超過10,000倍時，15-20 Kv通常就足夠了。同時，工作電壓和工作距離應保持相對穩定。如無特殊需要，不要頻繁改變電壓和工作距離。電子顯微鏡工作參數的頻繁變化不利于電子顯微鏡的穩定運行。

（6）盡可能少地頻繁開關燈絲。次數過多會對燈絲不利。。它不僅大大降低了維護成本，而且保證了電子顯微鏡的高效穩定運行。

審核編輯 黃宇