據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉，3月11日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目在廣州增城開(kāi)發(fā)區(qū)舉行光刻機(jī)搬入活動(dòng)，標(biāo)志著增芯項(xiàng)目順利進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段。

據(jù)悉，增芯項(xiàng)目是省、市重點(diǎn)項(xiàng)目，打造國(guó)內(nèi)第一條12英寸智能傳感器（MEMS）及特色工藝生產(chǎn)線，對(duì)增城乃至廣州、廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。增芯項(xiàng)目占地面積達(dá)370畝，分兩期建設(shè)，此前披露消息顯示，一期批復(fù)投資70億元，總投資達(dá)370億元。根據(jù)規(guī)劃，將建設(shè)月加工能力達(dá)2萬(wàn)片的12英寸MEMS制造生產(chǎn)線，預(yù)計(jì)2024年6月通線。

據(jù)羊城派報(bào)道，據(jù)了解，該項(xiàng)目預(yù)計(jì)今年6月份將完成首批設(shè)備安裝，今年12月底完成第一個(gè)有良率的產(chǎn)品下線。廣州增芯科技有限公司總經(jīng)理張亮表示，目前國(guó)產(chǎn)裝備在增芯一期項(xiàng)目里的使用占比超過(guò)了35%，希望在二期投產(chǎn)的時(shí)候能達(dá)到一半以上。

增城開(kāi)發(fā)區(qū)投資促進(jìn)局消息顯示，2023年9月20日，增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目正式封頂。項(xiàng)目總投資達(dá)370億元，分為兩期規(guī)劃，占地面積達(dá)370畝，一期達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)產(chǎn)能2萬(wàn)片/月。項(xiàng)目由廣州增芯科技有限公司進(jìn)行投資，擬建設(shè)半導(dǎo)體晶圓制造廠，主要生產(chǎn)12英寸工藝產(chǎn)品，產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)閭鞲衅鳌?a href="http://www.tjjbhg.com/analog/" target="_blank">模擬芯片和汽車電子等。

據(jù)廣州日?qǐng)?bào)報(bào)道，該項(xiàng)目自2022年底動(dòng)工起，僅用9個(gè)月零6天完成自樁基啟動(dòng)至主廠房封頂建設(shè)，實(shí)現(xiàn)了“開(kāi)工一年裝機(jī)”，封頂至今僅5個(gè)月多月便迎來(lái)了生產(chǎn)線最核心的裝備——光刻機(jī)。

審核編輯 黃宇